什麼是微振動?

微振動的定義泛指頻率在2~100 Hz，振幅在50 μm/s以下之振動量。無論是廠區內部樓板的強度、設備本身的運轉、或廠房其他設備的影響、廠房內的噪音等，都會成為振動的來源(Source)。而廠區外的影響則包括外部交通工具、附近廠房的施工、地震等，也都是微振動的來源。

為何要注重微振動

確實一般居家環境、辦公室、甚至一般工廠並不需要特別注重50 μm以下的振動量，然而，對於半導體、醫療及生物製藥等行業，其製程&檢測設備對於振動特別敏感，振動通常由內部來源（如人流量、風扇和幫浦）和外部環境來源（如外部交通、建築和其他附近的工業活動）因為製程的精密程度，即使微小的振動也會對產能良率造成影響，甚至在如今晶圓廠中安裝精密的隔振動設備，亦即主動式、被動式的隔振動系統，已經被認為是一種可以直接影響晶圓生產良率的事實。

什麼是VC -Curve
為了解決微振動的問題，人們開始想要制定一套通用的標準，VC-Curve因此出現，VC-C振動曲線是由 Eric Ungar 和 Colin Gordon 在 1980 年代初期開發的。 它們最初是就是為了用於半導體、醫療和生物製藥行業的振動敏感設備的通用振動標準而開發的，但已在各種技術應用中得到應用。該標准採用一組三分之一倍頻程速度譜的形式，其主要優點之一是振動以均方根速度而不是位移或加速度單位表示。各種研究表明，雖然單個設備可能對不同頻率表現出獨特的位移響應，但這些點通常位於恆速曲線上。此外，影響每類設備性能的閾值恆定速度往往相當一致。國際標準組織 (ISO) 還使用基於速度的人體振動標準，該標準已納入標準曲線圖中。

因此透過微振量測，可以了解設備的VC等級，並以此資訊進行改善(可能透過被動或主動隔震系統)，提升產品良率及檢測效率。

另外也有越來越多半導體設備商，如光學檢測機廠商...等也開始注重各自機台的微振等級，在設計階段即納入考量提昇產品競爭力。

譜威與微振
譜威是台灣半導體微振量測領域的領導者，我們微振、地震監測系統於相關領域取得超過9成的市佔率，直到今日已完成超過5000點，2000台的廠房、機台微振量測服務，更是結構技師、半導體廠、隔震基座廠商長期配合的夥伴。

譜威微振量測服務