應用說明：高溫擴散爐是晶圓廠重要的製程設備，由於數量需求量大，為了降低佔地面積，許多廠商將水平爐管改為垂直爐管，但也因此使乘載晶圓的晶舟結構強度更為重要。若結構不佳，當有較大震源如地震來的時候可能就會產生破片等問題。
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目的：透過結構模態測試可以觀察在不同設計下，爐管再面對低頻振源的結構強度。
測試工具
晶圓廠高溫擴散爐管結構測試
晶圓廠 高溫擴散爐/管狀爐 爐管結構測試
應用說明：高溫擴散爐是晶圓廠重要的製程設備，由於數量需求量大，為了降低佔地面積，許多廠商將水平爐管改為垂直爐管，但也因此使乘載晶圓的晶舟結構強度更為重要。若結構不佳，當有較大震源如地震來的時候可能就會產生破片等問題。
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目的：透過結構模態測試可以觀察在不同設計下，爐管再面對低頻振源的結構強度。
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