晶圓廠爐管外部震動模擬

晶圓廠 爐管外部振動模擬

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除了量測結構模態,亦可直接以inertial shaker透過 650N推力,產生80gal,5-50Hz

模擬外部水平及垂直震源。更直觀的了解外部振動對於爐管的影響。

 

測試架構

型號

TV 51140-IN

TV 51165-IN

 

震動台

S 51140-IN

S 51165-IN

 

功率放大器

BAA 1000

BAA 1000

 

峰值推力(N)  正弦/隨機

400/311

650/420

 

頻率範圍(Hz)

2 - 2000

2 - 2000

 

最大行程(mm)  peak to peak

9

9

 

最大速度(m/s)  正弦/隨機

1.5/1.5

1.5/1.5

 

最大加速度(g)  正弦/隨機

2.8/2

2.8/1.8

 

懸吊强度(N/mm)

56

98

 

移動佈建質量(kg)

0.63

0.97

 

激震器重量(kg)

16

26

 

連結頭 (螺絲mm)

M12

M12

 

在230V(kVA)下最大功耗  功放/風機

1.22/1.4

1.27/1.4

 

 

•隨機:限幅/力限控制、隨機資料簡化

•正弦:包括限幅/力限控制、共振搜尋和標記、正弦位移和速率控制、正弦資料簡化

•衝擊:經典衝擊、衝擊響應譜分析、外部脈衝、瞬態擷錄

•混合試驗模式: 正弦+隨機(SoR)、隨機+隨機(RoR)、正弦+隨機+隨機(SoRoR)