半導體廠晶圓的加工過程都是靠著俗稱娃娃機的空中單軌無人搬送系統執行搬運動作，而無人搬運車如果受損或運送過程中有較大的震動，都很容易導致晶圓的損壞。
半導體廠無人搬運車監測
半導體廠無人搬運車（娃娃機）監測系統
半導體廠晶圓的加工過程都是靠著俗稱娃娃機的空中單軌無人搬送系統執行搬運動作，而無人搬運車如果受損或運送過程中有較大的震動，都很容易導致晶圓的損壞。
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