系統目的及應用

在半導體生產環境中，不同的設備機台會產生不 盡相同的化學性廢氣，雖然部份設備機台本身有 前廢氣處理設備，仍然不能避免處理設備失效之 問題。 晶片生產製程中也使用了大量的易燃溶劑與化學 品，因此必須將它們做有效的分類與處理，以避 免在管路中因二度化學反應產生危險，並降低廢 氣排放及符合環境法規要求， 因此廢氣排放處理 系統在此就扮演著很重要的角色，更是不可或缺的廠務設備， 更不能停機。

譜威提供的Online 振動監測方案，有著有線及無線兩種架構，並將訊號回傳至phoenix GM設備監測系統，進行狀態監測，預知保養。
並可根據設備真實運轉狀態 於一定時程量測後建議適當的警戒值，數據並可經後段分析後 由專家提出診斷建議及維修排程。

系統架構


系統設備:

Phoenix GM 3S智慧監測系統， 美國IMI工業用加速規、LoRa 無線振動解決方案

產品連結 Phoenix GM3S智慧監測系統  、  美國IMI工業加速規、LoRa 無線振動解決方案

選擇譜威系統的原因

一、一條龍完整服務

譜威科技提供完整的系統建置，從感測器，擷取器，後端軟體及施工佈建，問題排除，甚至可提供診斷分析服務，搭配全台皆有服務據點，完整一條龍式的服務，最適合半導體廠。

有任何關於設備監測，振動排除問題，譜威都可以協助了解規劃並提供最合適的解決方案。

二、豐富的業界經驗

譜威科技成立至今超過30年，一直致力於振動測試以及監測領域，更是不斷精進開發自有品牌軟體，至今安裝建置的線上監測系統已超過3000通道，除此之外譜威更是各大晶圓、半導體廠的合格廠商，更提供超過20個廠微振地震監測系統，多年來合作搭配下非常了解半導體廠的特色與屬性。

三、好的使用體驗及高性價比