隨著iphone 14推出 由4奈米製程製作的A16晶片也宣告半導體高階製程已進入到新的階段，然而超高精度也代表超低的容錯率，

一般環境中，些微的震動仍會嚴重影響製成的良率，因此高科技產業如TFT、半導體廠房，為了方便製程工作的關係，皆將精密設備安裝在基座上面，透過被動或是主動方式降低環境振動，

什麼是微振動?

微振動的定義泛指頻率在2~100 Hz，振幅在50 μm/s以下之振動量。無論是廠區內部樓板的強度、設備本身的運轉、或廠房其他設備的影響、廠房內的噪音等，都會成為振動的來源(Source)。而廠區外的影響則包括外部交通工具、附近   廠房的施工、地震等，也都是微振動的來源。

微振標準曲線Vibration Criterion（VC-Curve）

微振標準曲線是由Eric Ungar和Colin Gordon於1980年發展而成。 最初是為了半導體，醫療和生物製藥行業的振動敏感設備的通用振動標準而開發的，但目前已在多種技術應用中得到應用。 該曲線採用一組三分之一的八度音階(1/3 Octave)速度譜的形式，以及國際標準組織（ISO）關於振動對建築物中人的影響。

更多的精密設備如原子力顯微鏡、電子顯微鏡、高倍率顯微鏡、半導體的曝光機、光學元件模組鏡面加工等等再啟用前皆會進行微振動規格的檢核，確認是否符合規定。

我們可以利用微振去做的事情：

一、微振量测： 1. 素地量测 2. 成廠廠房樓板量測 3. 機台進場前後基座微振量測

我們使用的設備

由於微振量測必須量測極微小振動，對於感測器解析度，以及儀器設備的雜訊比有著很高的要求。

因此我們選擇PCB 393B31，超高感度加速規，解析度達到0.000001g，可以量測到VC curve 中VC-D的等級，超低頻的頻率響應，0.1 to 200 Hz(±5%)，也非常適合微振量測的頻寬標準（2~100 Hz），此外ICP形式加速規的設計也有攜帶方便，安裝容易的優勢。

Sensitivity: (±5%) 10.0 V/g (1.02 V/(m/s²)) Broadband Resolution: 0.000001 g rms (0.000009 m/s² rms) Measurement Range: 0.5 g pk (4.9 m/s² pk) Frequency Range: (±5%) 0.1 to 200 Hz Electrical Connector: 2-Pin MIL-C-5015 Weight: 22.4 oz (635 gm)

儀器部分PW800是目前台灣市占率最高的微振測量儀，有著市面上最高規格24bit解析度以及102 dB dynamic range，即使在高取樣率下仍有極低的雜訊比50 μVrms，並提供微振量測所需的1/3 Octave只需要簡單的設定即可完成微振、剛性量測、並且可以自動畫出VC-Curve報告，因此可在現場直接了解該點位的振動狀況，也可快速提供測量報告。

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