半導體產業不斷發展，以滿足對更小、更強大、更節能晶片的高需求。 為了滿足這項要求，製造商實施了一系列策略，從投資新材料和設備到改進製造程序和技術。PCB是全球最大壓電式感測器製造商，旗下擁有豐富產品線，更是現行主流IEPE/ICP (集成電子壓電元件技術)的領導者，PCB 加速規透過高靈敏度、低雜訊（Low noise）、低釋氣（low outgassing）以及尺寸小等優勢，搭配多樣性的訊號線成功導入各項製程設備，包含光刻（lithography），檢測（inspection）、清潔(cleaning)、蝕刻(etching)、黏晶鍵合(die bonding)、光罩(mask alignment)和表面貼裝(surface mount)等製程機台。
高靈敏度壓電加速度計
在精度最重要的情況下，測量最小的振動，而不會出現誤跳機和警報。 透過奈米級偏轉測量來檢測變形，以確保整個組裝過程的品質。 PCB 的高靈敏度加速度計採用我們最佳壓電感測器技術，非常適合與光刻設備相關的極低頻，同時足夠堅固，可以在惡劣的工業環境中運作。
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SEISMIC ICP® ACCELEROMETER PCB MODEL 393A03
Measurement range: ±5 g pK (±49 m/s² pk) nSensitivity (±5%): 1000 mV/g (102 mV/(m/s²)) nFrequency range (±5 %): 0.5 to 2000 Hz nHermetic stainless steel housing |
SEISMIC ICP® ACCELEROMETER PCB MODELS 393B04, 393B05
Measurement ranges: ±5 g pK (±49 m/s² pk), ±0.5 g pk (±4.9 m/s² pk) nSensitivities (±10%): 1000 mV/g (102 mV/(m/s²)), 10.0 V/g (1.02 V/(m/s²)) nFrequency range (±5%): 0.06 to 450 Hz, 0.7 to 450 Hz nHermetic titanium housing |
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SEISMIC ICP® ACCELEROMETER
PCB MODEL 393B12 nMeasurement range: 0.5 g pk (4.9 m/s² pk) nSensitivity (±10%): 10.0 V/g (1.02 V/(m/s²)) nFrequency range (±5%): 0.15 to 1000 Hz nHermetic stainless steel housing |
SEISMIC ICP® ACCELEROMETER PCB MODEL 393B31 nMeasurement range: 0.5 g pk (4.9 m/s² pk) nSensitivity (±5 %): 10.0 V/g (1.02 V/(m/s²)) nFrequency range (±5 %): 0.1 to 200 Hz nHermetic stainless steel housing |
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TRIAXIAL CERAMIC SHEAR ICP® ACCELEROMETER PCB MODEL 356B18 nMeasurement range: ±5 g pk (±49 m/s² pk) nSensitivity (±10%): 1000 mV/g (102 mV/(m/s²)) n1/4-28 4-pin connector |
SEISMIC ICP® ACCELEROMETERS PCB SERIES 393B nMeasurement range: ±5 g pK (±49 m/s² pk) nSensitivities from 1000 mV/g (102 mV/(m/s²)) to 10000 mV/g nFrequency ranges from 0.6-450 Hz to 0.1-200 Hz nTEDS capable models available |
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LOW OUTGASSING TRIAXIAL ICP® ACCELEROMETER PCB MODEL 356M98 nMeasurement range: ±5 g pk (±49 m/s² pk) nSensitivity (±10%): 1000 mV/g (102 mV/(m/s²)) n1/4-28 4-pin connector nTitanium housing |
TRIAXIAL ICP® ACCELEROMETER PCB MODEL 356A15 nMeasurement range: ±50 g pk nSensitivity (±10 %): 100 mV/g (10.2 mV/(m/s²)) nFrequency range (±5 %): 2 to 5000 Hz nHermetic titanium housing |
客戶涵蓋多家半導體設備大廠
ASML、Nikon、Canon、Hitachi-High-tech、Nuglare、Lam…等
用以監測並降低微小振動對製程良率的影響。
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在此我們推薦幾款合適常用的加速規，另外也歡迎如有考慮將加速規裝於設備中的廠商與我們聯繫，我們將針對需求提供最合適的款式。
推薦型號
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333B50 優勢：高靈敏度,小尺寸 推薦設備：檢測（inspection）、清潔(Cleaning) latinum Stock Products; Modal array, ceramic shear ICP® accel, 1000 mV/g, 0.5 to 3k Hz, 10-32 side conn., 5-40 stud mount
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333B54 優勢：高靈敏度、中央穿孔環型設計 推薦設備：離子植入 Ring-style, high sensitivity, ceramic shear ICP® accel., 1 V/g, 1 to 10k Hz, 10-32 side conn.
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393B05 優勢：極高靈敏度可量測到非常微小振動，同樣規格下有更小的體積跟重量 推薦設備：光刻（lithography）、光罩(mask alignment) Seismic, miniature (50 gm), ceramic flexural ICP® accelerometer, 10 V/g, 0.7 to 450 Hz, 10-32 top connector
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356M132 優點：高靈敏度、低釋氣， 推薦設備光罩(mask alignment)、黏晶鍵合(die bonding)
Low Outgassing, Triaxial, high sensitivity, ceramic shear ICP® accel., 500 mV/g, 0.5 to 3k Hz, titanium hsg, 4-pin conn. This accelerometer features low out-gassing construction that is ideal for use in thermal vacuum chambers for environmental testing.
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356A01 優點：更大的量測範圍，極小的體積 推薦設備：表面貼裝(surface mount) Platinum Stock Products;Triaxial, lightweight (1.0 gm) miniature, ceramic shear ICP® accel., 5 mV/g, 0.25" cube
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